분야
pptx2. ACQC 작업 SOP
1. N2 用 MQC(20A)
2. Chemical 用 ACQC (50A)
2) 우측면 部
1. Chemical 세정 V/V /
2. N2 건조 V/V /
3. N2 가압
4. N2 Purge / 5. Vent /
6. Empty Sensor /
7. 50A ACQC
3) 배관 部
1. Chemical 세정 V/V /
2. N2 건조 V/V
3. 50A ACQC /
4. Unit 내부 등 /
5. T/L PT
6. Empty Sensor