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[재료공학] 진공증착 Vacuum Evaporation 실험 결과

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    [재료공학] 진공증착 Vacuum Evaporation 실험 결과에 대한 자료입니다.
    본문내용
    1.진공증착이란?

    진공층착법은 1857년에 Faraday가 처음으로 행한 방법으로 박막제조법중에서 널리 보급된 방법이라 할 수 있다. 원리는 간단하고, 진공중에서 금속, 화합물, 또는 합금을 가열하여 용융상태로부터 증발시켜 evaporated된 입자들을 기판 표면에 증착시키는 방법이다. 증발과정이 열교환과정이라는 점이 스파터링법과 다른 점이기는 하지만 이렇게 하여 만들어진 박막을 진공증착박막이라 한다.
    저항가열식 진공증착방법은 고융점의 filament, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로는 W, Mo, Ta 등으로, 이 금속들의 박 또는 선을 적당한 형상으로 만들어 증발원으로 한 것으로, 증착재료를 놓고 증발원에 전류를 흘려 가열하여 물질을 증발시키는 방법이다.
    융점이 낮은 재료의 증착에 유리하며 증착속도는 filament에 공급하는 전류량을 조절함으로써 변화시킬 수 있으며, 증착재료의 source는 선(wire) 또는 작은 덩어리 상태로써 Thermal Evaporator
    filament에 감거나 basket 또는 boat위에 놓고 양쪽의 전극을 통해 전류를 흘려주면 증착재료를 놓은 부위의 전기저항열이 최대가 되어 증착이 이루어진다.
    저항가열식 진공증착방법은 고융점의 filament, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로는 W, Mo, Ta 등으로, 이 금속들의 박 또는 선을 적당한 형상으로 만들어 증발원으로 한 것으로, 증착재료를 놓고 증발원에 전류를 흘려 가열하여 물질을 증발시키는 방법이다.
    융점이 낮은 재료의 증착에 유리하며 증착속도는 filament에 공급하는 전류량을 조절함으로써 변화시킬 수 있으며, 증착재료의 source는 선(wire) 또는 작은 덩어리 상태로써 filament에 감거나 basket 또는 boat위에 놓고 양쪽의 전극을 통해 전류를 흘려주면 증착재료를 놓은 부위의 전기저항열이 최대가 되어 증착이 이루어진다.
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