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[화학공학]GZO박막의 공정변수의 효과에 의한 구조적 전기적 특성

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    [화학공학]GZO박막의 공정변수의 효과에 의한 구조적 전기적 특성에 대한 자료입니다.
    목차

    1.Introduction
    2.Experiments
    3.Results and Discussion
    4.Conclusion
    본문내용
    ZnO박막의 낮은 전기적 특성을 향상시키기 위해선 도핑이 필요대부분 3족 원소로 도핑(B, Al, Ga, In)
    대부분의 논문의 경우 Al도핑한 ZnO(AZO)에 관련되어있다단점 : 성장과정에 있어서 높은 산소 반응성
    대안 : Ga 도핑 ZnO (GZO)

    특징 : AZO박막과 유사한 Zn2+ 이온반경 높은 Ga도핑 농도에서 ZnO 격자구조 변형의 최소화
    이 논문에선… 3wt%의 Ga doping ZnO thin filmglass에 증착전기적 특성의 최적화를 위해기판 온도, RF출력, Ar 공정압을 조정GZO박막의 공정변수의 효과에 의한 구조적 전기적 특성 조사
    실험 조건 요약3wt% GaSubstrate : GlassChamber Pres. : 4.9*10-6TorrAr Working Pres. : 3.5~7.5mTorrTemp. : 250~400℃RF Power : 100~200WAr Gas flow rate : 40sccm
    분석기기X-ray Diffractometer (XRD) at 40kV, 30mAHall Measurement at room temp.

    #공정변수#화학공학#GZO박막#GZO#공학