1.TFT의 기본구조
2.a-si에 관한 이론
3.Poly-si에 관한 이론
4.Oxide에 관한 이론
5.각각의 TFT에 대한 비교분석
6.실험 방법 및 기구
7.TFT의 전기적, 광학적 특성 분석에 관한 식 및 그래프 분석
산화물로 이루어진 반도체로서 광학적 밴드갭이 가시광선의 에너지(~3.1eV) 보다 크기때문에 가시 광선 영역에서 투명한 특성이 있다. 주로사용되는 물질은 ZnO, InO, SnO 등이며 이들의 조합으로 이루어진 화합물 형태도 있다. 지금까지는 주로각종 센서나 광학소자 등에 사용되어 왔으나 최근 TFT로의 응용이 활발히 연구되고 있다.
Swing은 transfer curve의 subthreshold영역에서 다음과 같
이 정의된다.
Swing값은 transfer curve의 sub-threshold 영역에 10배의
drain current를 변하게 하기 위해 필요한 gate voltage의
증가량이다. 이 swing값은 sub-threshold영역에서 Vgs의
값에 따라 얼마나 급격히 drain current가 변하는 지에 대
지표인데, 스윙 값이 작을수록 작은 Vg의 변화에도 Id가 급
격히 변하는 것을 의미하므로 transistor가 off 상태일 때
leakage current가 적게 흐른다. 결론적으로 Swing값이 낮
을수록 좋은 소자라고 할 수 있다.

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