Oxidation
Doping
Isolation
Metallization
2.Results & Discussion
Transfer Curve
- Vth
- Mobility
- SS
- On/off ratio
IV Curve
- Saturation region
Mobility 값은 300K 실온에서 Si 실리콘에서 전자 채널 형성되었을 때의 mobility값 1350보다 작은 값이 나왔습니다
Subthreshold swing 값은 일반적인 값인 0.1(저는0.07로알고있는뎋ㅎ) 보다 크게나왔습니다.
On off ratio역시 10의 6승으로 일반적인 값인 10의 7승~ 10의 8승 보다 작게 나왔습니다.
문턱전압이 크고 전하이동도가 작은 것은 합리적인 결과라고 할 수 있다.
전자가 어떠한 이유로 이동하고 힘들고 그에 따라 문턱전압도 커지는 결과이다
A Fundamental Study of the Bonded SOI Wafer Manufacturing, Do-min Moon외 3명, 1997
Single Crystal Silicon Thin Film Transistor using SOI Wafer for the Switching Device of Top Emission Type AMOLEDs, Jae-Won Chang외 4명, 2004.4
Solid State Electronic Devices, 6th Edition by Ben G. Streetman,Sanjay Banerjee (2005)
Introduction to Microelectronic Fabrication by Richard C. Jaeger (2005)
TFT LCD by T.Tsukada (1996)

분야