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실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비]
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2014.01.14
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소개글
실험 - Vacuum deposition의 이해와 증착속도에 따른 압력 변화측정[예비]에 대한 자료입니다.
본문내용
1. 실험 목적
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.
2. 실험 과정
시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐 장갑을 낀다.)
1) 기판 준비
① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
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