레포트 > 공학계열

Micro-scale patterning 실험

 1  Micro-scale patterning 실험-1
 2  Micro-scale patterning 실험-2
 3  Micro-scale patterning 실험-3
 4  Micro-scale patterning 실험-4
 5  Micro-scale patterning 실험-5
 6  Micro-scale patterning 실험-6
 7  Micro-scale patterning 실험-7
 8  Micro-scale patterning 실험-8
 9  Micro-scale patterning 실험-9
 10  Micro-scale patterning 실험-10
 11  Micro-scale patterning 실험-11
 12  Micro-scale patterning 실험-12
 13  Micro-scale patterning 실험-13
 14  Micro-scale patterning 실험-14
 15  Micro-scale patterning 실험-15
 16  Micro-scale patterning 실험-16
 17  Micro-scale patterning 실험-17
 18  Micro-scale patterning 실험-18
 19  Micro-scale patterning 실험-19
 20  Micro-scale patterning 실험-20
※ 미리보기 이미지는 최대 20페이지까지만 지원합니다.
  • 분야
  • 등록일
  • 페이지/형식
  • 구매가격
  • 적립금
다운로드  네이버 로그인
추천자료
  • [화학공학실험] 바이오디젤
  • 기체(가스)의 정의, 성질, 기체(가스)의 종류, 연구역사, 기체(가스)의 흡착분리공정, 기체(가스)의 확산실험, 기체(가스)의 흡수실험, 기체(가스)와 이상기체, 기체(가스)와 기체발생장치, 기체(가스)와 기체 분석
  • Photolithography를 이용한 pattern형성
  • 완충 용액의 특성과 응용 일반화학실험을 통한 심층 탐구
  • 2원계 합금의 열적 특성을 탐구하기 위한 실험적 접근
  • 다단식 연속증류의 원리와 수행 방법에 대한 심층 분석
  • 이산화황의 정량적 분석을 위한 중화적정법의 이론과 실험적 접근
  • 몰 질량의 신비를 풀다 에탄올과 부탄가스를 통한 실험적 접근
  • [재료공학실험]실리콘 태양전지의 전면전극 생성 및 이해
  • [식품공학 및 실험] 당근의 건조
    • 소개글
    Micro-scale patterning 실험에 대한 자료입니다.
    목차
    1 목적
    2 이론
    3 기구 및 시약
    4 실험방법
    5 주의사항
    6 참고문헌
    7 질의응답
    본문내용
    1 목적
    목적
    실험을 통해 유기물질을 이용한 마이크로 수준의 패턴을 만드는 법을 배우고 이해한다.


    (중략)

    2 이론
    Photolithography

    ★ 어떤 특정한 화학약품(Photo resist)이
    빛을 받으면 화학반응을 일으켜서
    성질이 변화하는 원리를 이용

    ★ mask를 사용하여 빛을 선택적으로
    PR에 조사함으로써 pattern을 형성
     
    ★ 모든 공정 step이 각종 particle에 대해
    매우 취약
    청정한 환경과 재료 및 장비의 관리가 보다
    중요한 공정


    ①Cleaning 공정
    불순물을 제거하는 세척과정

    ②Spin Coating 공정
    Spin 방식에 의하여 PR을 wafer위에
    균일하게 코팅하는 과정

    ③Soft Baking 공정
    PR내의 solvent를 열에너지에 의해 증발시켜
    점착(adhesion)을 좋게 하는 과정

    ④Exposure 공정
    mask를 원하는 위치에 패턴이 새겨지도록
    정렬 후UV를 강하게 노출시켜 PR을 반응시킴
    참고문헌
    ★ Chemical Engineering Laboratory2 – SKKU CE

    ★ http://en.wikipedia.org/wiki/Polydimethylsiloxane

    ★ http://terms.naver.com/entry.nhn?docId
    =864802&mobile&categoryId=209

    ★ http://terms.naver.com/entry.nhn?
    docId=444846&mobile&categoryId=354

    ★ http://en.wikipedia.org/wiki/Isopropyl_alcohol
    http://en.wikipedia.org/wiki/Acetone

    ★ http://www.unece.org/trans/danger/
    publi/ghs/pictograms.html

    #실험#실험방법#방법#공정#기구#사용