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[화학공학] Micro-Scale Patterns(영문)

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    목차
    Objective
    Introduction & Background
    Apparatus, Reagents
    Procedure
    본문내용
    Understand
    Principles of micro-scale patterning process
    Experiment
    Display devices and MEMS, Developing micro-channel

    MEMS
    (Micro-Electro-Mechanical Systems)

    Technology of very small mechanical devices

    What for, MEMS ?
    Chemistry, Biology, Medical Science, Mechanics, Electronics

    Why, Lab-On-a-Chip ?

    Several Lab functions on a single chip
    very Small size
    Cheap – Mass production
    just small Amount of Solution
    Rapid Analysis



    참고문헌
    Marc J. Madou
    “Fundamentals of MICROFABICATION,” 2nd edition

    J. D. Lee
    “Silicon Integrated Circuit micro-fabrication-technology,” 2nd edition

    R. C. Jaeger
    “Introduction to Microelectronic Fabrication,” 2nd edition

    www.isrc.snu.ac.kr
    #화학공학#Scale#Micro#MicroScale#Patterns